Chip MBE-projektet slutfört under de senaste åren

Teknologi

Molekylär stråleepitaxi, eller MBE, är en ny teknik för odling av högkvalitativa tunna filmer av kristaller på kristallunderlag. Vid extremt höga vakuumförhållanden är värmepannan utrustad med alla typer av nödvändiga komponenter och genererar ånga, genom hål bildade efter kollimering av strålens atom- eller molekylstråle, direktinsprutning till lämplig temperatur i det enkristallade substratet, styr molekylstrålen underlagsskanning samtidigt kan det göra molekylerna eller atomerna i kristallinriktningsskikt för att bilda en tunn film på ett substrat "tillväxt".

För normal drift av MBE-utrustning krävs hög renhet, lågt tryck och extremt rent flytande kväve som ska transporteras kontinuerligt och stabilt till kylkammaren i utrustningen. I allmänhet har en tank som ger flytande kväve ett utgångstryck mellan 0,3 MPa och 0,8 MPa. Flytande kväve vid -196 ℃ förångas lätt till kväve under rörtransport. När väl det flytande kvävet med ett gas-vätskeförhållande på cirka 1: 700 har förgasats i rörledningen kommer det att uppta en stor mängd flytande kväveflödesutrymme och minska det normala flödet i slutet av röret för flytande kväve. Dessutom finns det troligtvis skräp som inte har rengjorts i lagringstanken för flytande kväve. I rörledningen för flytande kväve leder förekomsten av våt luft också till att isslag genereras. Om dessa föroreningar släpps ut i utrustningen kommer det att orsaka oförutsägbar skada på utrustningen.

Därför transporteras flytande kväve i förvaringstanken utomhus till MBE-utrustningen i den dammfria verkstaden med hög effektivitet, stabilitet och renhet, och lågt tryck, inget kväve, inga föroreningar, 24 timmar oavbruten, ett sådant transportkontrollsystem är en kvalificerad produkt.

tcm (4)
tcm (1)
tcm (3)

Matchande MBE-utrustning

Sedan 2005 har HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) optimerat och förbättrat detta system och samarbetat med internationella MBE-utrustningstillverkare. MBE-tillverkare, inklusive DCA, REBER, har samarbetsrelationer med vårt företag. MBE-utrustningstillverkare, inklusive DCA och REBER, har samarbetat i ett stort antal projekt.

Riber SA är en ledande global leverantör av molekylära strålepitaxiprodukter (MBE) och relaterade tjänster för sammansatt halvledarforskning och industriella applikationer. Riber MBE-enheten kan lägga mycket tunna lager av material på underlaget med mycket höga kontroller. Vakuumutrustningen för HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) är utrustad med Riber SA. Den största utrustningen är Riber 6000 och den minsta är Compact 21. Den är i gott skick och har erkänts av kunderna.

DCA är världens ledande MBE-oxid. Sedan 1993 har systematisk utveckling av oxidationstekniker, substratuppvärmning av antioxidanter och antioxidantkällor genomförts. Av denna anledning har många ledande laboratorier valt DCA-oxidteknik. Komposit MBE-system med halvledare används över hela världen. VJ flytande kvävecirkulationssystem för HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) och MBE-utrustningen för flera DCA-modeller har matchningserfarenhet i många projekt, till exempel modellen P600, R450, SGC800 etc.

tcm (2)

Prestandatabell

Shanghai Institute of Technical Physics, Chinese Academy of Sciences
Det elfte institutet för China Electronics Technology Corporation
Institute of Semiconductors, Chinese Academy of Sciences
Huawei
Alibaba DAMO Academy
Powertech Technology Inc.
Delta Electronics Inc.
Suzhou Everbright Photonics

Inläggstid: 26 maj-2021