Kortfattat om molekylärstråleepitaxi (MBE)
Tekniken med molekylärstråleepitaxi (MBE) utvecklades på 1950-talet för att framställa halvledartunnfilmsmaterial med hjälp av vakuumindunstningteknik. Med utvecklingen av ultrahögvakuumteknik har tillämpningen av tekniken utvidgats till området halvledarvetenskap.
Motivationen för forskning om halvledarmaterial är efterfrågan på nya anordningar, vilket kan förbättra systemets prestanda. I sin tur kan ny materialteknik producera ny utrustning och ny teknik. Molekylärstråleepitaxi (MBE) är en högvakuumteknik för tillväxt av epitaxiella lager (vanligtvis halvledare). Den använder värmestrålen från källatomer eller molekyler som träffar enkristallsubstrat. Processens ultrahöga vakuumegenskaper möjliggör in-situ metallisering och tillväxt av isoleringsmaterial på nyligen framställda halvledarytor, vilket resulterar i föroreningsfria gränssnitt.
MBE-teknik
Molekylstråleepitaxin utfördes i högvakuum eller ultrahögvakuum (1 x 10-8Pa) miljö. Den viktigaste aspekten av molekylärstråleepitaxi är dess låga avsättningshastighet, vilket vanligtvis tillåter filmen att epitaxiellt växa med en hastighet på mindre än 3000 nm per timme. En så låg avsättningshastighet kräver ett tillräckligt högt vakuum för att uppnå samma renhetsnivå som andra avsättningsmetoder.
För att uppnå det ultrahöga vakuum som beskrivs ovan har MBE-anordningen (Knudsen-cellen) ett kylskikt, och ultrahögvakuummiljön i tillväxtkammaren måste upprätthållas med hjälp av ett cirkulationssystem för flytande kväve. Flytande kväve kyler anordningens innertemperatur till 77 Kelvin (−196 °C). Lågtemperaturmiljön kan ytterligare minska innehållet av föroreningar i vakuum och ge bättre förhållanden för avsättning av tunna filmer. Därför krävs ett dedikerat kylcirkulationssystem för flytande kväve för att MBE-utrustningen ska kunna tillhandahålla en kontinuerlig och stabil tillförsel av -196 °C flytande kväve.
Flytande kväve kylcirkulationssystem
Vakuumkylningssystem med flytande kväve innefattar huvudsakligen,
● kryogen tank
● vakuummantlade huvud- och grenrör / vakuummantlade slangar
● MBE specialfasseparator och vakuummantlat avgasrör
● olika vakuummantlade ventiler
● gas-vätskebarriär
● vakuummantlat filter
● dynamiskt vakuumpumpsystem
● Förkylning och avluftningssystem för återuppvärmning
HL Cryogenic Equipment Company har noterat efterfrågan på MBE-kylsystem med flytande kväve, organiserat tekniskt stöd för att framgångsrikt utveckla ett speciellt MBE-kylsystem med flytande kväve för MBE-teknik och en komplett uppsättning vakuumisolering.edrörsystem, som har använts i många företag, universitet och forskningsinstitut.
HL Kryogen Utrustning
HL Cryogenic Equipment, som grundades 1992, är ett varumärke som är anslutet till Chengdu Holy Cryogenic Equipment Company i Kina. HL Cryogenic Equipment är engagerade i design och tillverkning av högvakuumisolerade kryogena rörsystem och relaterad stödutrustning.
För mer information, besök den officiella webbplatsenwww.hlcryo.com, eller mejla tillinfo@cdholy.com.
Publiceringstid: 6 maj 2021
