Brief of Molecular Beam Epitaxy (MBE)
Tekniken för Molecular Beam Epitaxy (MBE) utvecklades på 1950-talet för att förbereda halvledar tunnfilmsmaterial med hjälp av vakuumförångningsteknik.Med utvecklingen av ultrahögvakuumteknologi har tillämpningen av teknik utvidgats till området för halvledarvetenskap.
Motivationen för forskning om halvledarmaterial är efterfrågan på nya enheter, som kan förbättra systemets prestanda.Ny materialteknik kan i sin tur leda till ny utrustning och ny teknik.Molecular beam epitaxi (MBE) är en högvakuumteknologi för tillväxt av epitaxiella lager (vanligtvis halvledare).Den använder värmestrålen från källatomer eller molekyler som påverkar enkristallsubstrat.Processens ultrahöga vakuumegenskaper tillåter metallisering på plats och tillväxt av isoleringsmaterial på nytillväxta halvledarytor, vilket resulterar i föroreningsfria gränssnitt.
MBE-teknik
Den molekylära strålepitaxin utfördes i högvakuum eller ultrahögt vakuum (1 x 10-8Pa) miljö.Den viktigaste aspekten av molekylär strålepitaxi är dess låga avsättningshastighet, vilket vanligtvis tillåter filmen att epitaxiellt växa med en hastighet av mindre än 3000 nm per timme.En så låg avsättningshastighet kräver tillräckligt högt vakuum för att uppnå samma renhetsnivå som andra avsättningsmetoder.
För att möta det ultrahöga vakuumet som beskrivs ovan har MBE-enheten (Knudsen-cellen) ett kylskikt, och den ultrahöga vakuummiljön i tillväxtkammaren måste upprätthållas med hjälp av ett cirkulationssystem för flytande kväve.Flytande kväve kyler enhetens inre temperatur till 77 Kelvin (−196 °C).Den låga temperaturmiljön kan ytterligare minska innehållet av föroreningar i vakuum och ge bättre förutsättningar för avsättning av tunna filmer.Därför krävs ett dedikerat cirkulationssystem för flytande kväve för att MBE-utrustningen ska ge en kontinuerlig och jämn tillförsel av -196 °C flytande kväve.
Cirkulationssystem för flytande kväve
Vakuum flytande kväve kylcirkulationssystem inkluderar huvudsakligen,
● kryogen tank
● huvud- och grenvakuummantlad rör / vakuummantlad slang
● MBE specialfasavskiljare och vakuummantlad avgasrör
● olika vakuummantlade ventiler
● gas-vätskebarriär
● vakuummantlat filter
● dynamiskt vakuumpumpsystem
● Förkylning och tömning av återuppvärmningssystem
HL Cryogenic Equipment Company har märkt efterfrågan på MBE flytande kväve kylsystem, organiserad teknisk ryggrad för att framgångsrikt utveckla ett speciellt MBE flytande kväve kylsystem för MBE teknologi och en komplett uppsättning vakuumisoleringedrörsystem, som har använts i många företag, universitet och forskningsinstitut.
HL kryogen utrustning
HL Cryogenic Equipment som grundades 1992 är ett varumärke som är anslutet till Chengdu Holy Cryogenic Equipment Company i Kina.HL Cryogenic Equipment har åtagit sig att designa och tillverka det högvakuumisolerade kryogena rörsystemet och tillhörande stödutrustning.
För mer information, besök den officiella webbplatsenwww.hlcryo.com, eller maila tillinfo@cdholy.com.
Posttid: maj-06-2021