De flytande kvävekylningssystemen används ofta inom halvledar- och chipindustrin, inklusive processen för,
- Tekniken för molekylär strålepitaxi (MBE)
- Chipens test efter COB -paketet
Relaterade produkter
Vakuumisolerade rörserier
Vakuumisolerade flexibla slangserier
Dynamiskt vakuumpumpsystem
Vakuumisolerade fassavskiljningsserier
Vakuumisolerade ventilserier
Rörsystemstödutrustning
Molekylstråle
Tekniken för molekylär strålepitaxi (MBE) utvecklades på 1950 -talet för att förbereda halvledarens tunnfilmmaterial med hjälp av vakuumindunstningsteknik. Med utvecklingen av ultrahög vakuumteknologi har tillämpningen av teknik utvidgats till området halvledarvetenskap.
HL har lagt märke till efterfrågan på MBE -flytande kvävekylningssystem, organiserat teknisk ryggrad för att framgångsrikt utveckla ett speciellt MBE -flytande kvävesystem för MBE -teknik och en komplett uppsättning vakuumisolerade rörsystem, som har använts i många företag, universitet och forskningsinstitut .
De vanliga problemen med Semiconductor & Chip -industrin inkluderar,
- Trycket av flytande kväve i terminal (MBE) utrustning. Förhindra trycköverbelastning från att skada terminal (MBE) utrustning.
- Flera kryogena vätskedloppskontroller och utloppskontroller
- Temperaturen på flytande kväve i terminalutrustning
- En rimlig mängd kryogena gasutsläpp
- (Automatisk) Växling av huvud- och grenlinjer
- Tryckjustering (reducerande) och stabilitet hos VIP
- Rengöring bort de möjliga föroreningarna och isrester från tanken
- Fyllningstiden för den terminala vätskanutrustningen
- Pipeline föregångning
- Flytande motstånd i VIP -systemet
- Kontrollförlust av flytande kväve under diskontinuerlig service av systemet
HL: s vakuumisolerade rör (VIP) är byggt för ASME B31.3 Tryckrörskod som standard. Teknisk erfarenhet och kvalitetskontrollförmåga för att säkerställa effektiviteten och kostnadseffektiviteten för kundens anläggning.
Lösningar
HL -kryogen utrustning ger kunderna det vakuumisolerade rörsystemet för att uppfylla kraven och förhållandena för halvledar- och chipindustrin:
1. Kvalitetshanteringssystem: ASME B31.3 Tryckrörskod.
2. En speciell fasseparator med flera kryogena vätsker och utlopp med automatisk kontrollfunktion uppfyller kravet på gasutsläpp, återvunnet flytande kväve och temperatur för flytande kväve.
3.Dequate och snabb avgasdesign säkerställer att terminalutrustning alltid fungerar inom det designade tryckvärdet.
4. Gas-vätskeformen placeras i det vertikala VI-röret i slutet av VI-rörledningen. Gas-vätskesbarriär använder gastätningsprincipen för att blockera värmen från slutet av VI-rörledningen till VI-rörledningen och minska effektivt förlusten av flytande kväve under diskontinuerlig och intermittent service av systemet.
5.VI-rörledningar som kontrolleras av serien Vakuumisolerade ventil (VIV): inklusive vakuumisolerad (pneumatisk) avstängningsventil, vakuumisolerad kontrollventil, vakuumisolerad regleringsventil etc. nödvändig. VIV är integrerad med VIP-prefabricering hos tillverkaren utan isolerad behandling på plats. Tätningsenheten för VIV kan enkelt bytas ut. (HL accepterar det kryogena ventilmärket som utsetts av kunder och gör sedan vakuumisolerade ventiler av HL. Vissa märken och ventilmodeller kanske inte kan göras till vakuumisolerade ventiler.)
6. Avlägsen, om det finns ytterligare krav för rena rörytan. Det föreslås att kunderna väljer BA eller EP rostfritt stålrör som VIP inre rör för att ytterligare minska spill i rostfritt stål.
7.Vacuumisolerat filter: Rengör de möjliga föroreningar och isrest från tanken.
8. Efter några dagar eller längre avstängning eller underhåll är det mycket nödvändigt att förkylas VI -rörledningen och terminalutrustningen innan kryogen vätska matas in för att undvika isslagg efter att kryogen vätska direkt kommer in i VI -rörledningen och terminalutrustningen. Förkylningsfunktion bör beaktas i design. Det ger bättre skydd för terminalutrustning och VI -rörledningsutrustning som ventiler.
9. Suit för både dynamiskt och statiskt vakuumisolerat (flexibelt) rörsystem.
10.Dynamisk vakuumisolerad (flexibel) rörsystem: Består av VI -flexibla slangar och/eller VI -rör, bygelslangar, vakuumisolerade ventilsystem, fasseparatorer och dynamiskt vakuumpumpsystem (inklusive vakuumpumpar, magnetventiler och vakuumvaller etc. ). Längden på enstaka VI -flexibel slang kan anpassas efter användarens krav.
11.Various anslutningstyper: Vakuum Bajonet Anslutning (VBC) Typ och svetsad anslutning kan väljas. VBC-typen behöver inte isolerad behandling på plats.
