Kylsystemen för flytande kväve används i stor utsträckning inom halvledar- och chipindustrin, inklusive processen för,
- Tekniken för Molecular Beam Epitaxy (MBE)
- Chipets test efter COB-paket
Relaterade produkter
Vakuumisolerade rörserien
Vakuumisolerad flexibel slangserie
Dynamiskt vakuumpumpsystem
Vakuumisolerade fasseparatorserien
Vakuumisolerade ventilserien
Stödutrustning för rörsystem
MOLEKYLÄR STRÅLEPITAXI
Tekniken för Molecular Beam Epitaxy (MBE) utvecklades på 1950-talet för att förbereda halvledar tunnfilmsmaterial med hjälp av vakuumförångningsteknik. Med utvecklingen av ultrahögvakuumteknologi har tillämpningen av teknik utvidgats till området för halvledarvetenskap.
HL har noterat efterfrågan på MBE flytande kväve kylsystem, organiserad teknisk ryggrad för att framgångsrikt utveckla ett speciellt MBE flytande kväve kylsystem för MBE-teknik och en komplett uppsättning av vakuumisolerade rörsystem, som har använts i många företag, universitet och forskningsinstitut .
De vanliga problemen inom halvledar- och chipindustrin inkluderar,
- Trycket av flytande kväve in i terminalutrustning (MBE). Förhindra trycköverbelastning från skadad terminalutrustning (MBE).
- Flera kryogena vätskeinlopps- och utloppskontroller
- Temperaturen av flytande kväve i terminalutrustning
- En rimlig mängd kryogena gasutsläpp
- (Automatisk) Byte av huvud- och grenledningar
- Tryckjustering (reducerande) och stabilitet hos VIP
- Rengöring av eventuella föroreningar och isrester från tanken
- Påfyllningstid för terminal vätskeutrustning
- Rörledningsförkylning
- Vätskemotstånd i VIP-system
- Kontrollera förlust av flytande kväve under diskontinuerlig service av systemet
HL:s Vacuum Insulated Pipe (VIP) är byggd enligt ASME B31.3 Pressure Piping-kod som standard. Ingenjörserfarenhet och kvalitetskontrollförmåga för att säkerställa effektiviteten och kostnadseffektiviteten hos kundens anläggning.
LÖSNINGAR
HL Cryogenic Equipment förser kunder med det vakuumisolerade rörsystemet för att möta kraven och villkoren för halvledar- och chipindustrin:
1. Kvalitetsledningssystem: ASME B31.3 tryckrörskod.
2. En specialfasseparator med flera kryogena vätskeinlopp och -utlopp med automatisk kontrollfunktion uppfyller kraven på gasutsläpp, återvunnet flytande kväve och temperatur på flytande kväve.
3.Adekvat och aktuell avgaskonstruktion säkerställer att terminalutrustningen alltid fungerar inom det designade tryckvärdet.
4. Gas-vätskebarriären placeras i det vertikala VI-röret i slutet av VI-rörledningen. Gas-vätskebarriären använder gastätningsprincipen för att blockera värmen från änden av VI-rörledningen in i VI-röret och effektivt minska förlusten av flytande kväve under diskontinuerlig och intermittent service av systemet.
5.VI rörledningar som kontrolleras av den vakuumisolerade ventilen (VIV)-serien: inklusive vakuumisolerad (pneumatisk) avstängningsventil, vakuumisolerad backventil, vakuumisolerad reglerventil etc. Olika typer av VIV kan kombineras modulärt för att styra VIP som nödvändig. VIV är integrerad med VIP-prefabricering hos tillverkaren, utan isolerad behandling på plats. Tätningsenheten hos VIV kan enkelt bytas ut. (HL accepterar det kryogena ventilmärket som utsetts av kunder och tillverkar sedan vakuumisolerade ventiler av HL. Vissa märken och modeller av ventiler kanske inte kan göras till vakuumisolerade ventiler.)
6.Renhet, om det finns ytterligare krav på renhet av innerrörets yta. Det föreslås att kunder väljer BA- eller EP-rör av rostfritt stål som VIP-innerrör för att ytterligare minska spill av rostfritt stål.
7. Vakuumisolerat filter: Rengör bort eventuella föroreningar och isrester från tanken.
8. Efter några dagar eller längre avstängning eller underhåll är det mycket nödvändigt att förkyla VI Piping och terminalutrustning innan kryogen vätska kommer in, för att undvika isslagg efter att kryogen vätska kommer direkt in i VI Piping och terminalutrustning. Förkylningsfunktion bör beaktas vid design. Det ger bättre skydd för terminalutrustning och VI Piping-stödutrustning såsom ventiler.
9.Suit för både dynamiskt och statiskt vakuumisolerat (flexibelt) rörsystem.
10. Dynamiskt vakuumisolerat (flexibelt) rörsystem: Består av VI flexibla slangar och/eller VI-rör, bygelslangar, vakuumisolerade ventilsystem, fasseparatorer och dynamiskt vakuumpumpsystem (inklusive vakuumpumpar, magnetventiler och vakuummätare etc. ). Längden på enkel VI Flexibel slang kan anpassas efter användarens krav.
11. Olika anslutningstyper: Vacuum Bajonet Connection (VBC) Typ och svetsad anslutning kan väljas. VBC-typen behöver inte isoleras på plats.
