Kylsystem med flytande kväve används ofta inom halvledar- och chipindustrin, inklusive processen för,
- Tekniken för molekylärstråleepitaxi (MBE)
- Chipets test efter COB-paket
Relaterade produkter
Vakuumisolerade rörserier
Vakuumisolerad flexibel slangserie
Dynamiskt vakuumpumpsystem
Vakuumisolerad fasseparatorserie
Vakuumisolerad ventilserie
Utrustning för rörledningssystem
MOLEKYLÄKERSTRÅLEEPITAXI
Tekniken med molekylärstråleepitaxi (MBE) utvecklades på 1950-talet för att framställa halvledartunnfilmsmaterial med hjälp av vakuumindunstningteknik. Med utvecklingen av ultrahögvakuumteknik har tillämpningen av tekniken utvidgats till området halvledarvetenskap.
HL har noterat efterfrågan på MBE-kylsystem med flytande kväve, organiserat den tekniska stommen för att framgångsrikt utveckla ett speciellt MBE-kylsystem med flytande kväve för MBE-teknik och en komplett uppsättning vakuumisolerade rörsystem, som har använts i många företag, universitet och forskningsinstitut.
Vanliga problem inom halvledar- och chipindustrin inkluderar,
- Trycket av flytande kväve i terminalutrustning (MBE). Förhindra att trycköverbelastning skadar terminalutrustning (MBE).
- Flera in- och utloppskontroller för kryogen vätska
- Temperaturen på flytande kväve i terminalutrustning
- En rimlig mängd kryogena gasutsläpp
- (Automatisk) omkoppling av huvud- och grenledningar
- Tryckjustering (reducering) och stabilitet hos VIP
- Rengöring av eventuella föroreningar och isrester från tanken
- Fyllningstid för terminalens vätskeutrustning
- Förkylning av rörledningar
- Vätskebeständighet i VIP-system
- Kontrollförlust av flytande kväve under diskontinuerlig drift av systemet
HL:s vakuumisolerade rör (VIP) är byggda enligt ASME B31.3 tryckrörskod som standard. Erfarenhet av teknisk konstruktion och förmåga att kontrollera kvaliteten säkerställer effektiviteten och kostnadseffektiviteten i kundens anläggning.
LÖSNINGAR
HL Cryogenic Equipment förser kunder med vakuumisolerade rörsystem för att möta kraven och villkoren inom halvledar- och chipindustrin:
1. Kvalitetsledningssystem: ASME B31.3 Tryckrörskod.
2. En specialfasseparator med flera kryogena vätskeinlopp och -utlopp med automatisk styrfunktion uppfyller kraven för gasutsläpp, återvunnet flytande kväve och temperatur för flytande kväve.
3. Tillräcklig och aktuell avgasdesign säkerställer att terminalutrustningen alltid arbetar inom det avsedda tryckvärdet.
4. Gas-vätskebarriären placeras i det vertikala VI-röret i änden av VI-rörledningen. Gas-vätskebarriären använder gastätningsprincipen för att blockera värme från änden av VI-rörledningen in i VI-rörledningen och effektivt minska förlusten av flytande kväve under diskontinuerlig och intermittent drift av systemet.
5. VI-rörledningar styrda av vakuumisolerade ventiler (VIV)-serien: Inklusive vakuumisolerade (pneumatiska) avstängningsventiler, vakuumisolerade backventiler, vakuumisolerade reglerventiler etc. Olika typer av VIV kan modulärt kombineras för att styra VIP:n efter behov. VIV är integrerad med VIP-prefabricering hos tillverkaren, utan isoleringsbehandling på plats. VIV:s tätningsenhet kan enkelt bytas ut. (HL accepterar det kryogena ventilmärke som anges av kunderna och tillverkar sedan vakuumisolerade ventiler av HL. Vissa märken och modeller av ventiler kanske inte kan tillverkas som vakuumisolerade ventiler.)
6. Renlighet, om det finns ytterligare krav på innerrörets ytliga renhet. Det rekommenderas att kunder väljer BA- eller EP-rostfria stålrör som VIP-innerrör för att ytterligare minska spill av rostfritt stål.
7. Vakuumisolerat filter: Rengör tanken med eventuella föroreningar och isrester.
8. Efter några dagars eller längre avstängning eller underhåll är det mycket nödvändigt att förkyla VI-rören och terminalutrustningen innan kryogen vätska kommer in, för att undvika isslagg efter att kryogen vätska kommer direkt in i VI-rören och terminalutrustningen. Förkylningsfunktionen bör beaktas vid konstruktionen. Det ger bättre skydd för terminalutrustning och VI-rörens stödutrustning, såsom ventiler.
9. Lämplig för både dynamiska och statiska vakuumisolerade (flexibla) rörsystem.
10. Dynamiskt vakuumisolerat (flexibelt) rörsystem: Består av flexibla VI-slangar och/eller VI-rör, jumperslangar, vakuumisolerat ventilsystem, fasseparatorer och dynamiskt vakuumpumpsystem (inklusive vakuumpumpar, magnetventiler och vakuummätare etc.). Längden på en enda flexibla VI-slang kan anpassas efter användarens krav.
11. Olika anslutningstyper: Vakuumbajonettkoppling (VBC) och svetskoppling kan väljas. VBC-typen behöver ingen isoleringsbehandling på plats.
