Teknologi
Molekylär strålepitaxi, eller MBE, är en ny teknik för att odla högkvalitativa tunna filmer av kristaller på kristallsubstrat. Under ultrahöga vakuumförhållanden är uppvärmningsspisen utrustad med alla typer av nödvändiga komponenter och genererar ånga, genom hål som bildas efter kollimerande balkatomisk eller molekylstråle, direkt injektion till lämplig temperatur för den enskilda kristallsubstratet, styrande molekylstråle för att bli för strålstrålen till Substratskanningen Samtidigt kan det göra molekyler eller atomer i kristallinriktningsskikt för att bilda en tunn film på ett substrat "tillväxt".
För den normala driften av MBE-utrustning krävs hög renhet, lågt tryck och ultra-ren vätskekväve att kontinuerligt och stabilt transporteras till kylkammaren i utrustningen. I allmänhet har en tank som tillhandahåller flytande kväve ett utgångstryck mellan 0,3MPa och 0,8MPa.Liquidkväve vid -196 ℃ lätt förångas till kväve under rörledningstransport. När det flytande kvävet med ett gas-vätsketförhållande på cirka 1: 700 förgasats i rörledningen kommer det att uppta en stor mängd flytande kväveflödesutrymme och minska det normala flödet i slutet av den flytande kväve-rörledningen. I den flytande kväve -lagringstanken finns det dessutom troligtvis skräp som inte har rengjorts. I den flytande kväve -rörledningen kommer förekomsten av våt luft också att leda till generering av isslagg. Om dessa föroreningar släpps ut i utrustningen kommer det att orsaka oförutsägbara skador på utrustningen.
Därför transporteras det flytande kväve i utomhuslagringstanken till MBE-utrustningen i den dammfria verkstaden med hög effektivitet, stabilitet och ren, och det låga trycket, inget kväve, inga föroreningar, 24 timmar oavbruten, sådant transportkontrollsystem är en kvalificerad produkt.



Matchande MBE -utrustning
Sedan 2005 har HL Cryogenic Equipment (HL Cryo) optimerat och förbättrat detta system och samarbetat med internationella MBE -utrustningstillverkare. MBE -utrustningstillverkare, inklusive DCA, Reber, har samarbetsrelationer med vårt företag. MBE -utrustningstillverkare, inklusive DCA och Reber, har samarbetat i ett stort antal projekt.
Riber SA är en ledande global leverantör av Molecular Beam Epitaxy (MBE) -produkter och relaterade tjänster för sammansatt halvledarforskning och industriella tillämpningar. Riber MBE -enheten kan avsätta mycket tunna lager av material på underlaget, med mycket höga kontroller. Vakuumutrustningen för HL -kryogen utrustning (HL Cryo) är utrustad med Riber SA Den största utrustningen är Riber 6000 och den minsta är kompakt 21. Den är i gott skick och har erkänts av kunderna.
DCA är världens ledande oxid MBE. Sedan 1993 har systematisk utveckling av oxidationstekniker, antioxidantsubstratvärme och antioxidantkällor genomförts. Av denna anledning har många ledande laboratorier valt DCA -oxidteknologi. Komposit halvledar MBE -system används runt om i världen. VJ -flytande kvävedirkulationssystemet för HL -kryogen utrustning (HL Cryo) och MBE -utrustningen för flera modeller av DCA har matchningsupplevelsen i många projekt, till exempel modellen P600, R450, SGC800 etc.

Prestationsbord
Shanghai Institute of Technical Physics, Chinese Academy of Sciences |
Det 11: e Institute of China Electronics Technology Corporation |
Institute of Semiconductors, Chinese Academy of Sciences |
Huawei |
Alibaba Damo Academy |
PowerTech Technology Inc. |
Delta Electronics Inc. |
Suzhou Everbright Photonics |
Posttid: maj-26-2021