Teknologi
Molecular beam epitaxy, eller MBE, är en ny teknik för att odla högkvalitativa tunna filmer av kristaller på kristallsubstrat. Under ultrahöga vakuumförhållanden, vid uppvärmning kaminen är utrustad med alla typer av nödvändiga komponenter och genererar ånga, genom hål som bildas efter kollimerande stråle atomär eller molekylär stråle, direkt injicering till lämplig temperatur för enkristallsubstratet, styrande molekylstråle till substratet skannar samtidigt, kan det få molekylerna eller atomerna i kristallinriktningsskikt att bilda en tunn film på ett substrat "tillväxt".
För normal drift av MBE-utrustning krävs hög renhet, lågt tryck och ultrarent flytande kväve för att kontinuerligt och stabilt transporteras till utrustningens kylkammare. I allmänhet har en tank som tillhandahåller flytande kväve ett utgående tryck mellan 0,3 MPa och 0,8 MPa. Flytande kväve vid -196 ℃ förångas lätt till kväve under rörledningstransport. När väl det flytande kvävet med ett gas-vätskeförhållande på cirka 1:700 förgasas i rörledningen kommer det att uppta en stor mängd flytande kväveflödesutrymme och minska det normala flödet vid slutet av rörledningen för flytande kväve. Dessutom, i lagringstanken för flytande kväve, finns det sannolikt skräp som inte har rengjorts. I rörledningen för flytande kväve kommer förekomsten av våt luft också att leda till bildandet av isslagg. Om dessa föroreningar släpps ut i utrustningen kommer det att orsaka oförutsägbar skada på utrustningen.
Därför transporteras det flytande kvävet i utomhuslagringstanken till MBE-utrustningen i den dammfria verkstaden med hög effektivitet, stabilitet och ren, och det låga trycket, inget kväve, inga föroreningar, 24 timmar oavbrutet, ett sådant transportkontrollsystem är en kvalificerad produkt.
Matchande MBE-utrustning
Sedan 2005 har HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) optimerat och förbättrat detta system och samarbetat med internationella MBE-utrustningstillverkare. Tillverkare av MBE-utrustning, inklusive DCA, REBER, har samarbetsrelationer med vårt företag. Tillverkare av MBE-utrustning, inklusive DCA och REBER, har samarbetat i ett stort antal projekt.
Riber SA är en ledande global leverantör av produkter för molekylär strålepitaxi (MBE) och relaterade tjänster för forskning om sammansatta halvledare och industriella tillämpningar. Riber MBE-enheten kan avsätta mycket tunna lager av material på underlaget, med mycket höga kontroller. Vakuumutrustningen hos HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) är utrustad med Riber SA. Den största utrustningen är Riber 6000 och den minsta är Compact 21. Den är i gott skick och har blivit erkänd av kunder.
DCA är världens ledande oxid-MBE. Sedan 1993 har systematisk utveckling av oxidationstekniker, antioxidantsubstratuppvärmning och antioxidantkällor genomförts. Av denna anledning har många ledande laboratorier valt DCA-oxidteknologi. MBE-system med sammansatta halvledare används över hela världen. VJ cirkulationssystemet för flytande kväve från HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) och MBE-utrustningen för flera modeller av DCA har matchningserfarenhet i många projekt, såsom modellen P600, R450, SGC800 etc.
Prestandatabell
Shanghai Institute of Technical Physics, Chinese Academy of Sciences |
The 11th Institute of China Electronics Technology Corporation |
Institute of Semiconductors, kinesiska vetenskapsakademin |
Huawei |
Alibaba DAMO Academy |
Powertech Technology Inc. |
Delta Electronics Inc. |
Suzhou Everbright Photonics |
Posttid: 26 maj 2021